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超低温制冷剂

R116制冷剂
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R116制冷剂

R116制冷剂 别名六氟乙烷(Perfluoroethane),亦称全氟乙烷,PFC-116(R-116),化学式C2F6,商品名称Reflube 116。 R116制冷剂应用...

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产品详情

  R116制冷剂 别名六氟乙烷(Perfluoroethane),亦称全氟乙烷,PFC-116(R-116),化学式C2F6,商品名称Reflube 116。

  R116制冷剂应用

  R116(六氟乙烷,C2F6)可用于一种具多功能的蚀刻技术,常见于半导体之生产。它可用于金属硅化物及金属氧化物并相对其金属基质的选择性蚀刻。叧外,它亦用于蚀刻硅上的二氧化硅。R116可与R23(三氟甲烷)一起用于配置制冷剂R508A(R116占61%)及R508B(R116占54%)。

  储存运输

  R-116 制冷剂钢瓶为带压容器,储存时应远离火种、热源、避免阳光直接曝晒,通常储放于阴凉、干燥和通风的仓库内;搬运时应轻装、轻卸,防止钢瓶以及阀门等附件破损。

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